光電直讀光譜儀被廣泛的使用，如今在生產建設中已經占有非常重要的地位，它其實是由以下幾個部分組成。

       組成

       光源部分、聚光部分、分光部分和測光部分共同構成了光電直讀光譜儀。試樣通過光源部分的激發發光。聚光部分是聚集發出的光往分光部分導入。分光部分是將光色散成各元素的譜線。測光部分是用光電法對各元素的譜線強度進行測量并且指示、記錄下來，或是將其測光讀數換算成為元素質量分數表示出來。

       1.分光器

       入射狹縫、分光元件和出射狹縫系統共同組成分光器，進入入射系統的光，通過分光元件分光，通過出射狹縫系統來對各元素的譜線進行選擇。因為鐵的譜線很多，所以建議使用大色散的分光元件。按照分光器內部是在真空下還是在非真空下使用，能夠分成真空型和非真空型兩大類。

       2.測光裝置（光電倍增管為例）

       由光電倍增管、積分單元、記錄器或指示器等共同組成測光裝置各自接收的從出射狹縫來的光通過內標線和分析線的光電倍增管變成電流，再分別向積分電容充電。

       3.真空型光電光譜儀的真空系統

       因為硫、磷、碳、氮等元素的靈敏線在小于200納米的波段范圍內，空氣將吸收這些波段的輻射，所以在真空中放置光電光譜儀的光學系統，才可以分析這些元素。因此，必須使用真空光電光譜儀來進行硫、磷、碳等元素的測定。真空光電光譜儀除了一般光電光譜儀的裝置以外，還需要對真空系統和控制氣氛兩個裝置進行增加。

       4.光源發生器

       低壓電容放電發生器，電弧發生器，火花發生器為光電光譜分析使用的光源發生器。

       5.光源的電極架部分

       對塊狀試樣、棒狀試樣和對電極進行裝載為光源的電極架部分的用途。塊狀電極架通常可以裝載直徑超過20毫米的平面試樣，有的使用各種樣品夾具對裝棒狀試樣、小型試樣和薄板試樣同樣適用。在真空光電光譜儀中，光源電極架具有使用氬氣氣氛的結構，能夠使用流量計和自動閥來對氬氣流量進行調節控制。

       6.聚光裝置

       由聚光鏡系統組成，聚集起光源的光是其作用，并且將其往分光系統射入。對于該系統而言，通常要對光源發出的光輻射進行充分的利用，使大的光強獲得，同時需要將儀器的功能充分地發揮出來，使應有的分辨能力達到光源發出的光一般利用單透鏡成像法、三透鏡中間成像法和圓柱面透鏡成像法在準直鏡中成像。

光電直讀光譜儀內部